大氣等離子清洗機在運行過程中所有的功能部件都可以控制，在清洗模式下，射頻功率、清洗時間等都可以通過觸摸屏設(shè)定，如果需要充入氣體可選擇兩個氣路并分別設(shè)置充氣流量。清洗過程中運行參數(shù)包括真空度、射頻輸出功率、清洗時間等都在觸摸屏上顯示。

　　

　　如果你發(fā)現(xiàn)在使用大氣清洗機清洗效果不好，可以從上述幾個主要運行參數(shù)上做出適當調(diào)整。下面，琦凡精密帶大家一起來了解下幾個影響等離子清洗效果的主要因素，讓你對影響大氣等離子清洗機清洗效果的原因有一個更加清晰的認知。

　　

　　一、功率

　　

　　等離子體的密度和能量與射頻功率成正比關(guān)系，所以在清洗時應(yīng)該增大清洗功率從而提高清洗的程度以及清洗的效率，但當功率過大，離子溫度會上升，在高溫條件下金屬基片或其他易被氧化的物質(zhì)會被氧化從而被破壞，另外不耐高溫零件例如塑料等也會損壞，因此在清洗之前可以借助模擬合理選擇需要的功率，既要滿足經(jīng)濟性要求又要保證清洗效果以及清洗的效率。

　　

　　二、時間

　　

　　通常在保證清洗效果的同時需要的時間越少越好以提高清洗的效率，但所用時間是與各個參數(shù)之間相互關(guān)聯(lián)的。一般來說，功率越大，所需要清洗的時間就會越短，但相應(yīng)的功耗也會越大，功率的增大會使反應(yīng)腔體與零件的溫度升高。

　　

　　同時也會造成其他的多種問題，例如零件被破壞、發(fā)生刻蝕等。因此需要不斷摸索清洗時間、功率、壓力以及氣體種類和配比的關(guān)系選擇一個清洗工藝。

　　

　　三、溫度

　　

　　在等離子清洗中，工件溫度會在離子的轟擊作用下變高，所以工件的溫度會受到射頻功率和清洗時間的影響。根據(jù)國內(nèi)外研究表明射頻頻率與溫度成反比；與射頻功率成正比；時間越長溫度越高。

　　

　　四、壓強

　　

　　真空腔體內(nèi)的壓強在設(shè)備運行的過程中主要受漏氣率，充氣及抽氣速度影響。針對不同的材料以及需要去除的污染物不同，所需壓強也是不同的。當充入氬氣、氮氣等非反應(yīng)性稀有氣體時，此時的清洗主要靠離子的物理轟擊作用，此時可以通過增大抽速或者減小充氣速度，來保證真空室在較低的壓力，壓強低可以保證離子具有較高的能量轟擊到基片表面以增強清洗效果。

　　

　　五、均勻性

　　

　　離子均勻性主要受到氣體流動和腔體壓力的影響。反應(yīng)氣體的流動性會直接影響到均勻性，在大氣等離子清洗機主要考量均勻性的設(shè)計是在充抽氣方面，氣體從真空室前端充入，在真空室中部發(fā)生反應(yīng)，在尾部排出廢氣；壓力也直接影響均勻性，分子的平均自由程隨著壓力的降低而變長，離子所獲得的能量越大且均勻，因此清洗效果越好。